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首頁(yè)-產(chǎn)品展示-工業(yè)及半導(dǎo)體檢測(cè)解決方案-晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備-晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備

晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào):

簡(jiǎn)要描述:晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備是由高精度光學(xué)檢測(cè)顯微鏡搭載全自動(dòng)晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)組成,支持4-12寸的晶圓尺寸,可輕松實(shí)現(xiàn)多角度、全視野的宏觀(guān)檢查、以及晶圓微觀(guān)細(xì)節(jié)的高清捕捉,可對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程工藝中的關(guān)鍵參數(shù)、缺陷問(wèn)題進(jìn)行有效監(jiān)控,是晶圓來(lái)料檢測(cè)和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。

  • 企業(yè)實(shí)力

    Enterprise Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 質(zhì)量保障

    Quality Assurance

詳細(xì)介紹

  晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備是由高精度光學(xué)檢測(cè)顯微鏡搭載全自動(dòng)晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)組成,支持4-12寸的晶圓尺寸,可輕松實(shí)現(xiàn)多角度、全視野的宏觀(guān)檢查、以及晶圓微觀(guān)細(xì)節(jié)的高清捕捉,可對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程工藝中的關(guān)鍵參數(shù)、缺陷問(wèn)題進(jìn)行有效監(jiān)控,是晶圓來(lái)料檢測(cè)和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。
 
  晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備兼具穩(wěn)定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合于前道到后道工程的晶圓檢查一個(gè)晶圓在經(jīng)過(guò)一系列復(fù)雜工序后最終變成多個(gè)IC單元,期間晶圓需要依賴(lài)搬運(yùn)機(jī)在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級(jí)厚度的晶圓很容易在傳送過(guò)程中損壞,而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。
晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備
  SOPTOP擁有AWL046、AWL068、AWL812三種機(jī)型,多類(lèi)配置,分別可適用于 4/6 英寸,6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測(cè),適應(yīng)范圍廣、搭配靈活 。
晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備
  可自由設(shè)置的檢查模式,充分符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),操作舒適、簡(jiǎn)便。 
晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備
  一、應(yīng)用領(lǐng)域:
晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備
  二、360°宏觀(guān)檢查: 
  AWL系列具有宏觀(guān)檢查手臂,可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀(guān)檢查、晶背宏觀(guān)檢查1的360°旋轉(zhuǎn),更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過(guò)操作桿可隨意將晶圓傾斜觀(guān)察。晶面最大傾斜角度70°,晶背1最大傾斜角度90°,晶背2最大傾斜角度160°,利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜角度,可以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。
晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備
  三、人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì): 
  LCD 顯示屏,可為操作者提供更直觀(guān)的視覺(jué)體驗(yàn),可清晰的顯示當(dāng)前檢查項(xiàng)目及次序,調(diào)試參數(shù)一目了然。手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可提高操作者的舒適度和工作效率。
晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備
  四、精密微觀(guān)檢查: 
  采用專(zhuān)業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡,可滿(mǎn)足明場(chǎng)、暗場(chǎng)、DIC、偏光等多種觀(guān)察方式。全新電動(dòng)控制系統(tǒng),可排查 μm 級(jí)異常,諸如孔未開(kāi)出,短路,斷路,沾污,氣泡,殘留等。
晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備
 

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